产品名称：3d光学轮廓显微镜
产品型号：pz-3010d
产品简介：使用sensofar有技术开发的neox光学轮廓仪，集成了共聚焦计数和干涉测量技术，并具有薄膜测量能力，该系统可以用于标准的明场彩色显微成像，共焦成像，三维共焦建模，psi、vsi及高分辨率薄膜厚度测量。
产品概述&参数
产品特点：
3d光学轮廓显微镜使用sensofar有技术开发的neox光学轮廓仪，其共聚焦部分的主要优点是有着*发光效率的照明硬件和高对比度算法。这些特点使系统成为测量有着陡峭斜面、粗糙的、反光表面和含有异种材料样品的理想设备。高品质干涉光学系统和集成压电扫描器是干涉轮廓仪部分的关键。这项技术对于测量非常光滑至适度粗糙的表面比较理想。这些技术的组合为neox轮廓仪提供了无限宽广的应用领域。
可用于标准的明场彩色显微成像、共焦成像、三维共焦建模、psi、vsi及高分辨率薄膜厚度测量。没有移动部件使其拥有坚固而紧凑的设计，同时也使得该探头适合很多oem应用。极其简单的、符合人体工程学的软件界面使用户获得非常快的测量速度，只需方便地切换适当的物镜，调焦，并选择适当的采集模式即可。
产品功能：
※共聚焦 (confocal profiling)
共聚焦轮廓仪可以测量较光滑或非常粗糙的表面高度。借助消除虚焦部分光线的共焦成像系统，可提供高对比度的图像。籍由表面的垂直扫描，物镜的焦点扫过表面上的每一个点，以此找出每个像素位置的对应高度(即共聚焦图像)。
共聚焦轮廓仪可以由其光学组件实现超高的水平解析度，空间采样可以减小到0.10μm，这是一些重要尺寸测量的理想选择。高数值孔径na(0.95)和放大倍率(150x和200x)的物镜可测量斜率超过70°的光滑表面。neox具有*的光效，共聚焦算法可提供纳米级的垂直方向重复性。超长工作距离(slwd)可测量高宽比较大、形状较陡的样品。